Todas las películas delgadas utilizadas en la fabricación de semiconductores tienen resistencia, y la resistencia de la película tiene un impacto directo en el rendimiento del dispositivo. Normalmente no medimos la resistencia absoluta de la película, sino que utilizamos la resistencia de la lámina para caracterizarla.
¿Qué son la resistencia laminar y la resistividad volumétrica?
La resistividad del volumen, también conocida como resistividad del volumen, es una propiedad inherente de un material que caracteriza en qué medida el material impide el flujo de corriente eléctrica. El símbolo ρ de uso común representa, la unidad es Ω.
Resistencia laminar, también conocida como resistencia laminar, el nombre en inglés es resistencia laminar, que se refiere al valor de resistencia de la película por unidad de área. Símbolos de uso común Rs o ρs para expresar, la unidad es Ω/sq o Ω/□
La relación entre los dos es: resistencia de la lámina = resistividad del volumen/espesor de la película, es decir, Rs =ρ/t
¿Por qué medir la resistencia de la lámina?
Medir la resistencia absoluta de una película requiere un conocimiento preciso de las dimensiones geométricas de la película (largo, ancho, espesor), que tiene muchas variables y es muy complejo para películas muy delgadas o de forma irregular. La resistencia de la lámina sólo está relacionada con el espesor de la película y puede probarse rápida y directamente sin complicados cálculos de tamaño.
¿Qué películas necesitan medir la resistencia laminar?
Generalmente, es necesario medir la resistencia cuadrada de las películas conductoras y semiconductoras, mientras que no es necesario medir las películas aislantes.
En el dopaje de semiconductores también se mide la resistencia laminar del silicio.
¿Cómo medir la resistencia cuadrada?
El método de las cuatro sondas se utiliza generalmente en la industria. El método de cuatro sondas puede medir resistencias cuadradas que van desde 1E-3 a 1E+9Ω/sq. El método de cuatro sondas puede evitar errores de medición debido a la resistencia de contacto entre la sonda y la muestra.
Métodos de medición:
1) Coloque cuatro sondas dispuestas linealmente en la superficie de la muestra.
2) Aplicar una corriente constante entre las dos sondas exteriores.
3) Determine la resistencia midiendo la diferencia de potencial entre las dos sondas internas.
RS: resistencia de la hoja
ΔV: Cambio de tensión medido entre sondas internas
I: Corriente aplicada entre sondas exteriores.
Hora de publicación: 29 de marzo de 2024