Introducción al recubrimiento de carbono vítreo de grado semiconductor

I. Introducción a la estructura del carbono vítreo.

Características:

(1) La superficie del carbón vítreo es lisa y tiene una estructura vítrea;

(2) El carbón vítreo tiene alta dureza y baja generación de polvo;

(3) El carbón vítreo tiene un valor ID/IG grande y un grado muy bajo de grafitización, y su rendimiento de aislamiento térmico es mejor;

(4) El carbón vítreo es un carbón difícil de grafitizar con buena resistencia a altas temperaturas y gran estabilidad a altas temperaturas;

(5) El carbono vítreo tiene una superficie de reacción pequeña y una excelente resistencia a la corrosión química, y es más resistente a la erosión por oxígeno, silicio, etc.

II. Introducción al recubrimiento de carbono vítreo.

Los poros de la superficie del recubrimiento de grafito en escamas se distribuyen y la estructura está suelta, mientras que la estructura del recubrimiento de carbono vítreo está apretada y no se cae.

1. Rendimiento antioxidante del recubrimiento de carbón vítreo.

(1)Fieltro duro laminado
El revestimiento de carbón vítreo mejora eficazmente el rendimiento antioxidante del fieltro duro;

(2)Fieltro duro de fibra corta
El fieltro general tiene una alta porosidad y proporciona canales de oxígeno; el recubrimiento de grafito en escamas tiene una estructura suelta, menos canales de oxígeno y un rendimiento antioxidante mejorado; el revestimiento de carbón vítreo tiene una estructura densa, menos canales de oxígeno y el mejor rendimiento antioxidante.

2. Estabilidad a alta temperatura del recubrimiento de carbón vítreo frente a la ablación
La estructura porosa del fieltro liso puede atenuar el calor (disipación de calor por convección de calor); el papel de grafito es propenso a formar ampollas cuando se elimina; la profundidad de ablación del recubrimiento de carbón vítreo es la más superficial y su resistencia a la ablación es la más fuerte; el revestimiento de carbono vítreo tiene un buen rendimiento de aislamiento térmico.

3. Rendimiento contra la erosión del Si del revestimiento de carbón vítreo
El fieltro duro de fibra corta es erosionado y pulverizado por el Si; el recubrimiento de grafito en escamas tiene resistencia a la erosión del Si a corto plazo; El recubrimiento de carbono vítreo tiene el mejor rendimiento antierosión.

La razón principal de la erosión del Si es que la gasificación del Si erosiona directamente la superficie del fieltro duro, lo que provoca la pulverización; mientras que la estructura de carbono del recubrimiento de carbono vítreo es más estable y tiene un mejor rendimiento antierosión.

Resumen

El sistema de recubrimiento de carbono vítreo no sólo se utiliza en materiales de aislamiento térmico, sino que también se espera que se utilice directamente en la superficie de piezas de grafito ypiezas de control, mejorando eficazmente el rendimiento del servicio integral del material.