Introducción del portador de obleas.
CATAGORIA DE PRODUCTOS
▶Sistema portador de obleas para procesos PECVD y TALOX
• Bote de grafito PECVD y TALOX (M4~M12)
• Barco SM vertical (M4, M6)
• Pieza de grafito para implante y ducha (M4~M6)
• Bandeja C/C y revestimiento cerámico
• Bandeja RIE de metal y revestimiento cerámico
• Sellado al vacío: junta tórica y junta SQ
▶Proceso de transferencia de texturizado y grabado húmedo
• LSC H-Carrier o casete (M4~M12)
• LSC V-Carrier o casete (M4~M12)
• Portador ASC o casete (M4, M6)
• Portador W/F y caja de almacenamiento (M4~M12)
• Serie de ruedas de transporte (rodillos)
▶Portador de células solares y portador de metal
• Portador o casete TRC (M4~M12)
• Revista (con CINTURÓN)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
21P6-240CT WF M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
23P7-308CT(Sin M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
22P/7-294TP (Sin M4~M12)
BARCO DE GRAFITO (Tipo H)
W182-22P7-294CT (Sin M12)
W182-21P6-240CT (Con M12)
PORTADOR WF Y CAJA DE ALMACENAMIENTO (~M12)
BANDEJA C/C o PORTADOR (M4~M10)
BANDEJA C/C o PORTADOR (M4~M10)
BARCO VERTICAL (SM) M6
LSC-H-PORTADOR(~M12)
LSC-V-PORTADOR(~M12)
PORTADORA ASC (~M6)
PORTADOR CVR (~M12)
PORTADOR CVR (~M12)
BARCO DE GRAFITO (M12)
Sistema portador de obleas para proceso PECVD
▶ BARCO DE GRAFITO (diseñado por CT) Proceso M10/M12
• CONCEPTO DE DISEÑO ESPECIAL
▶ BARCO DE GRAFITO (diseñado por CT) Proceso M4/M6
▶ Piezas accesorias para BARCOS
▶ BARCO VERTICAL-OBBLEA 161.7mm
▶ BARCO VERTICAL-OBBLEA 166mm
▶ BARCO VERTICAL-161.7mm, 166mm WAFER
Portador de células solares y portador TRC de metal
TIPO : Automatización
TAMAÑO DE LA OBLEA: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
USO: Llevar (Cassette)
CAPACIDAD : 100 hojas
PASO: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSIÓN: Aproximadamente 559×220×220MM
Aproximadamente 712×260×260MM
VENTAJA: Atmósfera
MATERIAL: LLAMA, BARRA LATERAL-Aluminio (anodizado)
PLACA LATERAL-POM (Antiestática)
Tapa barra inferior-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRANSPORTADOR METÁLICO TRC (LÍNEA USUARIO)
TRANSPORTADOR METÁLICO TRC (LÍNEA USUARIO)
TRANSPORTADOR METÁLICO TRC (LÍNEA USUARIO)
PLATO DE DUCHA E IMPLANTE, PORTADOR
