Sustrato 4H-SiC tipo P con ángulo fuera de ángulo de 2~6 pulgadas y 4°

Breve descripción:

El “sustrato de 4H-SiC tipo P con un ángulo de 4°” es un material semiconductor específico, donde “un ángulo de 4°” se refiere al ángulo de orientación del cristal de la oblea con un ángulo de 4 grados, y “tipo P” se refiere a el tipo de conductividad del semiconductor. Este material tiene importantes aplicaciones en la industria de los semiconductores, especialmente en los campos de la electrónica de potencia y la electrónica de alta frecuencia.


Detalle del producto

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Los sustratos de 4H-SiC tipo P con ángulo desviado de 4° de 2 a 6 pulgadas de Semicera están diseñados para satisfacer las crecientes necesidades de los fabricantes de dispositivos de RF y potencia de alto rendimiento. La orientación fuera de ángulo de 4° garantiza un crecimiento epitaxial optimizado, lo que convierte a este sustrato en una base ideal para una variedad de dispositivos semiconductores, incluidos MOSFET, IGBT y diodos.

Este sustrato de 4H-SiC tipo P con un ángulo de 2 a 6 pulgadas y 4° tiene excelentes propiedades de material, incluida una alta conductividad térmica, un excelente rendimiento eléctrico y una excelente estabilidad mecánica. La orientación fuera de ángulo ayuda a reducir la densidad de los microtubos y promueve capas epitaxiales más suaves, lo cual es fundamental para mejorar el rendimiento y la confiabilidad del dispositivo semiconductor final.

Los sustratos de 4H-SiC tipo P con ángulo de 4° de 2 a 6 pulgadas de Semicera están disponibles en una variedad de diámetros, que van desde 2 pulgadas hasta 6 pulgadas, para cumplir con diferentes requisitos de fabricación. Nuestros sustratos están diseñados con precisión para proporcionar niveles de dopaje uniformes y características de superficie de alta calidad, lo que garantiza que cada oblea cumpla con las estrictas especificaciones requeridas para aplicaciones electrónicas avanzadas.

El compromiso de Semicera con la innovación y la calidad garantiza que nuestros sustratos 4H-SiC tipo P con ángulo desviado de 4° de 2 a 6 pulgadas ofrezcan un rendimiento constante en una amplia gama de aplicaciones, desde electrónica de potencia hasta dispositivos de alta frecuencia. Este producto proporciona una solución confiable para la próxima generación de semiconductores de alto rendimiento y eficiencia energética, respaldando avances tecnológicos en industrias como la automotriz, las telecomunicaciones y las energías renovables.

Estándares relacionados con el tamaño

Tamaño 2 pulgadas 4 pulgadas
Diámetro 50,8 mm±0,38 mm 100,0 mm+0/-0,5 mm
Orientación de superficie 4°hacia<11-20>±0,5° 4°hacia<11-20>±0,5°
Longitud plana primaria 16,0 mm±1,5 mm 32,5 mm ± 2 mm
Longitud plana secundaria 8,0 mm±1,5 mm 18,0 mm ± 2 mm
Orientación plana primaria Paralelo <11-20>±5.0° Paralelo<11-20>±5.0c
Orientación plana secundaria 90°CW desde primario ± 5,0°, silicio boca arriba 90°CW desde primario ± 5,0°, silicio boca arriba
Acabado superficial Cara C: Pulido óptico, Cara Si: CMP Cara C: Pulido óptico, Cara Si: CMP
Borde de oblea biselado biselado
Rugosidad de la superficie Cara de Si Ra<0,2 nm Cara de Si Ra<0,2 nm
Espesor 350,0 ± 25,0 um 350,0 ± 25,0 um
politipo 4H 4H
dopaje tipo p tipo p

Estándares relacionados con el tamaño

Tamaño 6 pulgadas
Diámetro 150,0 mm+0/-0,2 mm
Orientación de la superficie 4°hacia<11-20>±0,5°
Longitud plana primaria 47,5 mm ± 1,5 mm
Longitud plana secundaria Ninguno
Orientación plana primaria Paralelo a <11-20>±5,0°
Orientación plana secundaria 90°CW desde primario ± 5,0°, silicio boca arriba
Acabado superficial Cara C: pulido óptico, cara Si: CMP
Borde de oblea biselado
Rugosidad de la superficie Cara de Si Ra<0,2 nm
Espesor 350,0±25,0 μm
politipo 4H
dopaje tipo p

raman

Sustrato-3 de 4H-SiC tipo P con ángulo fuera de ángulo de 2-6 pulgadas y 4°

Curva oscilante

Sustrato-4 de 4H-SiC tipo P con ángulo fuera de ángulo de 2-6 pulgadas y 4°

Densidad de dislocación (grabado con KOH)

Sustrato-5 de 4H-SiC tipo P con ángulo fuera de ángulo de 2-6 pulgadas y 4°

Imágenes de grabado de KOH

Sustrato-6 de 4H-SiC tipo P con ángulo fuera de ángulo de 2-6 pulgadas y 4°
Obleas de SiC

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