Herramienta de grafito recubierta de carburo de silicio, para artesanía de epitaxia

Breve descripción:

Semicera ofrece una amplia gama de susceptores y componentes de grafito diseñados para varios reactores de epitaxia.

A través de asociaciones estratégicas con fabricantes de equipos originales líderes en la industria, amplia experiencia en materiales y capacidades de fabricación avanzadas, Semicera ofrece diseños personalizados para cumplir con los requisitos específicos de su aplicación. Nuestro compromiso con la excelencia garantiza que usted reciba soluciones óptimas para las necesidades de su reactor de epitaxia.

 


Detalle del producto

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Descripción

Nuestra empresa brinda servicios de proceso de recubrimiento de SiC mediante el método CVD en la superficie de grafito, cerámica y otros materiales, de modo que gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas en la superficie de los materiales recubiertos. formando una capa protectora SIC.

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Características principales

1. Grafito recubierto de SiC de alta pureza

2. Resistencia al calor superior y uniformidad térmica

3. Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa

4. Alta durabilidad frente a limpieza química.

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC

Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina Fase β de la FCC
Densidad gramos/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamaño de grano μm 2~10
Pureza química % 99.99995
Capacidad calorífica J·kg-1·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Fuerza flexural MPa (RT 4 puntos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) 430
Expansión Térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductividad térmica (W/mK) 300
Lugar de trabajo Semicera
Lugar de trabajo semicera 2
maquina de equipo
Procesamiento CNN, limpieza química, recubrimiento CVD
Nuestro servicio

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