36 piezas de equipos MOCVD con base de grafito de 4 pulgadas

Breve descripción:

Introducción y uso del producto: Colocación de 36 piezas de sustrato de 4 horas, utilizado para cultivo de LED con película epitaxial azul-verde

Ubicación del dispositivo del producto: en la cámara de reacción, en contacto directo con la oblea.

Principales productos derivados: chips LED

Principal mercado final: LED


Detalle del producto

Etiquetas de producto

Descripción

Nuestra empresa proporcionaRecubrimiento de SiCServicios de proceso por método CVD en la superficie de grafito, cerámica y otros materiales, de modo que gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas en la superficie de los materiales recubiertos, formandocapa protectora SIC.

 

Base de grafito--36

Características principales

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas:
La resistencia a la oxidación sigue siendo muy buena cuando la temperatura alcanza los 1600 C.
2. Alta pureza: elaborado mediante deposición química de vapor en condiciones de cloración a alta temperatura.
3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sal y reactivos orgánicos.

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC

Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina Fase β de la FCC
Densidad gramos/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamaño de grano µm 2~10
Pureza química % 99.99995
Capacidad calorífica J·kg-1·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Fuerza flexural MPa (RT 4 puntos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) 430
Expansión Térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductividad térmica (W/mK) 300
Lugar de trabajo Semicera
Lugar de trabajo semicera 2
maquina de equipo
Procesamiento CNN, limpieza química, recubrimiento CVD
Casa de artículos de semicera
Nuestro servicio

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