Bandeja MOCVD recubierta de SiC de alta pureza antioxidante

Breve descripción:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. es un proveedor líder especializado en obleas y consumibles semiconductores avanzados.Nos dedicamos a proporcionar productos innovadores, confiables y de alta calidad para la fabricación de semiconductores.industria fotovoltaicay otros campos relacionados.

Nuestra línea de productos incluye productos cerámicos y de grafito recubiertos de SiC/TaC, que abarcan diversos materiales como carburo de silicio, nitruro de silicio y óxido de aluminio, etc.

Como proveedor confiable, entendemos la importancia de los consumibles en el proceso de fabricación y estamos comprometidos a entregar productos que cumplan con los más altos estándares de calidad para satisfacer las necesidades de nuestros clientes.

 

Detalle del producto

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Descripción

Nuestra empresa proporcionaRecubrimiento de SiCServicios de proceso por método CVD en la superficie de grafito, cerámica y otros materiales, de modo que gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas de SiC de alta pureza, moléculas que se depositan en la superficie de los materiales recubiertos, formando unacapa protectora de SiC.

 

Características principales

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas:
La resistencia a la oxidación sigue siendo muy buena cuando la temperatura alcanza los 1600 C.
2. Alta pureza: elaborado mediante deposición química de vapor en condiciones de cloración a alta temperatura.
3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
4. Resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sal y reactivos orgánicos.

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC

Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina Fase β de la FCC
Densidad gramos/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamaño de grano µm 2~10
Pureza química % 99.99995
Capacidad calorífica J·kg-1·K-1 640
Temperatura de sublimación 2700
Fuerza flexural MPa (RT 4 puntos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) 430
Expansión Térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductividad térmica (W/mK) 300
PIEZAS EPITAXIALES MOCVD
disco MOCVD

Equipo

acerca de

Lugar de trabajo Semicera
Lugar de trabajo semicera 2
maquina de equipo
Procesamiento CNN, limpieza química, recubrimiento CVD
Casa de artículos de semicera
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