Efector cerámico de carburo de silicio para la transferencia de obleas en diversos procesos de semiconductores

Breve descripción:

El brazo mecánico de carburo de silicio se forma mediante un proceso de prensado isostático y se sinteriza a alta temperatura. De acuerdo con los requisitos de los dibujos de diseño del usuario, el tamaño del contorno, el tamaño del espesor y la forma se pueden refinar para cumplir con los requisitos específicos de los usuarios.

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Características y ventajas

1.Dimensiones precisas y estabilidad térmica.

2. Alta rigidez específica y excelente uniformidad térmica, el uso a largo plazo no es fácil de doblar y deformar;

3. Tiene una superficie lisa y buena resistencia al desgaste, por lo que maneja el chip de forma segura sin contaminación por partículas.

4.Resistividad del carburo de silicio en 106-108Ω, no magnético, de acuerdo con los requisitos de especificación anti-ESD; Puede evitar la acumulación de electricidad estática en la superficie del chip.

5.Buena conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión.