Sustratos de nitruro de galio|Obleas de GaN

Breve descripción:

El nitruro de galio (GaN), al igual que los materiales de carburo de silicio (SiC), pertenece a la tercera generación de materiales semiconductores con un ancho de banda prohibida amplio, con un ancho de banda prohibida grande, alta conductividad térmica, alta tasa de migración de saturación de electrones y campo eléctrico de alta ruptura sobresaliente. características.Los dispositivos GaN tienen una amplia gama de perspectivas de aplicación en campos de alta frecuencia, alta velocidad y alta demanda de energía, como iluminación LED de bajo consumo, pantallas de proyección láser, vehículos de nueva energía, redes inteligentes y comunicación 5G.


Detalle del producto

Etiquetas de producto

Obleas de GaN

Los materiales semiconductores de tercera generación incluyen principalmente SiC, GaN, diamante, etc., porque su ancho de banda prohibida (Eg) es mayor o igual a 2,3 electronvoltios (eV), también conocidos como materiales semiconductores de banda prohibida ancha. En comparación con los materiales semiconductores de primera y segunda generación, los materiales semiconductores de tercera generación tienen las ventajas de una alta conductividad térmica, un alto campo eléctrico de ruptura, una alta tasa de migración de electrones saturados y una alta energía de enlace, que pueden cumplir con los nuevos requisitos de la tecnología electrónica moderna para alta Temperatura, alta potencia, alta presión, alta frecuencia y resistencia a la radiación y otras condiciones duras. Tiene importantes perspectivas de aplicación en los campos de la defensa nacional, la aviación, el sector aeroespacial, la exploración petrolera, el almacenamiento óptico, etc., y puede reducir la pérdida de energía en más del 50% en muchas industrias estratégicas como las comunicaciones de banda ancha, la energía solar, la fabricación de automóviles, iluminación de semiconductores y redes inteligentes, y puede reducir el volumen de equipos en más de un 75 %, lo que supone un hito para el desarrollo de la ciencia y la tecnología humanas.

 

Artículo 项目

GaN-FS-CU-C50

GaN-FS-CN-C50

GaN-FS-C-SI-C50

Diámetro
晶圆直径

50,8 ± 1mm

Espesor厚度

350 ± 25 micras

Orientación
晶向

Plano C (0001) fuera del ángulo hacia el eje M 0,35 ± 0,15°

Piso privilegiado
主定位边

(1-100) 0 ± 0,5°, 16 ± 1 mm

Piso Secundario
次定位边

(11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 mm

Conductividad
导电性

tipo N

tipo N

Semiaislante

Resistividad (300K)
电阻率

< 0,1 Ω·cm

< 0,05 Ω·cm

> 106 Ω·cm

televisión
平整度

≤ 15 µm

ARCO
弯曲度

≤ 20 µm

Rugosidad de la superficie de la cara Ga
Ga面粗糙度

< 0,2 nm (pulido);

o < 0,3 nm (pulido y tratamiento superficial para epitaxia)

N Rugosidad de la superficie de la cara
N面粗糙度

0,5 ~ 1,5 µm

opción: 1~3 nm (tierra fina); < 0,2 nm (pulido)

Densidad de dislocación
位错密度

De 1 x 105 a 3 x 106 cm-2 (calculado por CL)*

Densidad de defectos macro
缺陷密度

< 2cm-2

Área utilizable
有效面积

> 90% (exclusión de defectos de borde y macro)

Se puede personalizar según los requisitos del cliente, diferentes estructuras de lámina epitaxial de GaN basada en silicio, zafiro y SiC.

Lugar de trabajo Semicera Lugar de trabajo semicera 2 maquina de equipo Procesamiento CNN, limpieza química, recubrimiento CVD Nuestro servicio


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