Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de silicio, portador de oblea de 6 pulgadas de 6 piezas

El susceptor de grafito conRecubrimiento de carburo de silicio, 6 piezasPortador de oblea de 6 pulgadasde semicera ofrece una durabilidad y conductividad térmica excepcionales para aplicaciones de crecimiento epitaxial de alto rendimiento. Semicera se especializa en susceptores avanzados diseñados para mejorar procesos comoSi epitaxiayEpitaxia de SiC, lo que garantiza un rendimiento confiable en entornos de semiconductores exigentes.

Este susceptor está diseñado específicamente para su uso conSusceptor MOCVDsistemas y ofrece compatibilidad con varios operadores, como PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier y RTP Carrier. Es ideal para la producción de silicio monocristalino y configuraciones de susceptor epitaxial LED, ya que ofrece versatilidad en diferentes configuraciones, incluidos los diseños de susceptor de barril y susceptor de panqueque.

El susceptor de grafito con revestimiento de carburo de silicio también admite aplicaciones en el sector de la energía solar mediante su integración con piezas fotovoltaicas y destaca en procesos de epitaxia de GaN en SiC. Su capacidad de portador de obleas de 6 pulgadas garantiza un alto rendimiento, lo que la convierte en una herramienta esencial para los fabricantes de las industrias fotovoltaica y de semiconductores.