Susceptor portador de oblea de grafito recubierto de SiC de alta pureza

Breve descripción:

El susceptor portador de SiC de alta pureza de Semicera está diseñado para procesos avanzados de fabricación de semiconductores y LED, y ofrece una estabilidad térmica excepcional y un rendimiento superior a altas temperaturas. Fabricado con carburo de silicio de alta pureza, este susceptor garantiza una distribución eficiente del calor, una mejor uniformidad del proceso y una mayor durabilidad. Ideal para MOCVD, CVD y otras aplicaciones de alta temperatura, el susceptor portador de SiC de Semicera proporciona un rendimiento confiable y duradero, lo que ayuda a optimizar la eficiencia de su producción y la calidad del producto.

Envíanos un correo electrónico

Detalle del producto

Etiquetas de producto

Descripción

Las cerámicas de carburo de silicio tienen excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente, como alta resistencia, alta dureza, alto módulo elástico, etc., también tienen una excelente estabilidad a altas temperaturas, como alta conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión térmica y buena rigidez específica y óptica. rendimiento del procesamiento.
Son especialmente adecuados para producir piezas cerámicas de precisión para equipos de circuitos integrados, como máquinas de litografía, utilizadas principalmente para fabricar el portador/susceptor de SiC, la oblea de SiC, el disco de succión, la placa de refrigeración por agua, el reflector de medición de precisión, las rejillas y otras piezas estructurales de cerámica.

transportista2

transportista3

transportista4

Ventajas

Resistencia a altas temperaturas: uso normal a 1800 ℃
Alta conductividad térmica: equivalente al material de grafito.
Alta dureza: dureza superada solo por el diamante y el nitruro de boro
Resistencia a la corrosión: los ácidos fuertes y los álcalis no tienen corrosión, la resistencia a la corrosión es mejor que el carburo de tungsteno y la alúmina.
Peso ligero: baja densidad, similar al aluminio
Sin deformación: bajo coeficiente de expansión térmica.
Resistencia al choque térmico: puede soportar cambios bruscos de temperatura, resistir choques térmicos y tiene un rendimiento estable
Los portadores de carburo de silicio, como el portador de grabado sic y el susceptor de grabado ICP, se utilizan ampliamente en CVD de semiconductores, pulverización catódica al vacío, etc. Podemos proporcionar a los clientes portadores de obleas personalizados de silicio y materiales de carburo de silicio para satisfacer diferentes aplicaciones.

Ventajas

Propiedad	Valor	Método
Densidad	3,21 g/cc	Fregadero-flotador y dimensión
Calor específico	0,66 J/g°K	Flash láser pulsado
Resistencia a la flexión	450MPa560MPa	Curva de 4 puntos, curvatura de punto RT4, 1300°
Dureza a la fractura	2,94 MPa·m1/2	Microindentación
Dureza	2800	Vicker's, carga de 500 g.
Módulo elástico Módulo de Young	450 GPa430 GPa	Curva de 4 puntos, curvatura RT4 pt, 1300 °C
Tamaño de grano	2 – 10 micras	SEM

Perfil de la empresa

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. es un proveedor líder de cerámicas semiconductoras avanzadas y el único fabricante en China que puede proporcionar simultáneamente cerámica de carburo de silicio de alta pureza (especialmente SiC recristalizado) y recubrimiento de SiC CVD. Además, nuestra empresa también está comprometida con campos cerámicos como la alúmina, nitruro de aluminio, circonio y nitruro de silicio, etc.

Nuestros productos principales incluyen: disco de grabado de carburo de silicio, remolque de botes de carburo de silicio, bote de oblea de carburo de silicio (fotovoltaico y semiconductor), tubo de horno de carburo de silicio, paleta voladiza de carburo de silicio, mandriles de carburo de silicio, viga de carburo de silicio, así como el recubrimiento CVD SiC y TaC. revestimiento. Los productos utilizados principalmente en las industrias de semiconductores y fotovoltaica, como equipos para el crecimiento de cristales, epitaxia, grabado, embalaje, hornos de recubrimiento y difusión, etc.
acerca de (2)