Portador/susceptor de SiC de alta pureza

Breve descripción:

El disco con cojinete de carburo de silicio también se conoce como bandeja SIC, disco de grabado de carburo de silicio, disco de grabado ICP. La bandeja de carburo de silicio para grabado LED (bandeja de SiC) φ600 mm es un accesorio especial para el grabado profundo de silicio (máquina de grabado ICP).

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Descripción

Las cerámicas de carburo de silicio tienen excelentes propiedades mecánicas a temperatura ambiente, como alta resistencia, alta dureza, alto módulo elástico, etc., también tienen una excelente estabilidad a altas temperaturas, como alta conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión térmica y buena rigidez específica y óptica. rendimiento del procesamiento.
Son especialmente adecuados para producir piezas cerámicas de precisión para equipos de circuitos integrados, como máquinas de litografía, utilizadas principalmente para fabricar el portador/susceptor de SiC, la oblea de SiC, el disco de succión, la placa de refrigeración por agua, el reflector de medición de precisión, las rejillas y otras piezas estructurales de cerámica.

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Ventajas

Resistencia a altas temperaturas: uso normal a 1800 ℃
Alta conductividad térmica: equivalente al material de grafito.
Alta dureza: dureza superada solo por el diamante y el nitruro de boro
Resistencia a la corrosión: los ácidos fuertes y los álcalis no tienen corrosión, la resistencia a la corrosión es mejor que el carburo de tungsteno y la alúmina.
Peso ligero: baja densidad, similar al aluminio
Sin deformación: bajo coeficiente de expansión térmica.
Resistencia al choque térmico: puede soportar cambios bruscos de temperatura, resistir choques térmicos y tiene un rendimiento estable
Los portadores de carburo de silicio, como el portador de grabado sic y el susceptor de grabado ICP, se utilizan ampliamente en CVD de semiconductores, pulverización catódica al vacío, etc. Podemos proporcionar a los clientes portadores de obleas personalizados de silicio y materiales de carburo de silicio para satisfacer diferentes aplicaciones.

Ventajas

Propiedad	Valor	Método
Densidad	3,21 g/cc	Fregadero-flotador y dimensión
Calor específico	0,66 J/g°K	Flash láser pulsado
Resistencia a la flexión	450MPa560MPa	Curva de 4 puntos, curvatura de punto RT4, 1300°
Dureza a la fractura	2,94 MPa·m1/2	Microindentación
Dureza	2800	Vicker's, carga de 500 g.
Módulo elástico Módulo de Young	450 GPa430 GPa	Curva de 4 puntos, curvatura RT4 pt, 1300 °C
Tamaño de grano	2 – 10 micras	SEM

Perfil de la empresa

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. es un proveedor líder de cerámicas semiconductoras avanzadas y el único fabricante en China que puede proporcionar simultáneamente cerámica de carburo de silicio de alta pureza (especialmente SiC recristalizado) y recubrimiento de SiC CVD. Además, nuestra empresa también está comprometida con campos cerámicos como la alúmina, nitruro de aluminio, circonio y nitruro de silicio, etc.

Nuestros productos principales incluyen: disco de grabado de carburo de silicio, remolque de botes de carburo de silicio, bote de oblea de carburo de silicio (fotovoltaico y semiconductor), tubo de horno de carburo de silicio, paleta voladiza de carburo de silicio, mandriles de carburo de silicio, viga de carburo de silicio, así como el recubrimiento CVD SiC y TaC. revestimiento. Los productos utilizados principalmente en las industrias de semiconductores y fotovoltaica, como equipos para el crecimiento de cristales, epitaxia, grabado, embalaje, hornos de recubrimiento y difusión, etc.
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