Susceptor de oblea recubierto de carburo de tantalio

Breve descripción:

El recubrimiento de carburo de tantalio es una tecnología avanzada de recubrimiento de superficies que utiliza material de carburo de tantalio para formar una capa protectora dura, resistente al desgaste y a la corrosión en la superficie del sustrato. Este recubrimiento tiene excelentes propiedades que aumentan significativamente la dureza del material, la resistencia a altas temperaturas y la resistencia química, al tiempo que reduce la fricción y el desgaste. Los recubrimientos de carburo de tantalio se utilizan ampliamente en diversos campos, incluida la fabricación industrial, la industria aeroespacial, la ingeniería automotriz y los equipos médicos, para extender la vida útil del material, mejorar la eficiencia de la producción y reducir los costos de mantenimiento. Ya sea para proteger superficies metálicas de la corrosión o mejorar la resistencia al desgaste y a la oxidación de piezas mecánicas, los recubrimientos de carburo de tantalio proporcionan una solución confiable para una variedad de aplicaciones.

 


Detalle del producto

Etiquetas de producto

Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes.El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, alta estabilidad de temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (Susceptor TaC recubierto de grafito), y prolongar la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.

 

Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología deTaC en materia de CVDcon los esfuerzos conjuntos del departamento de I+D. Es fácil que se produzcan defectos en el proceso de crecimiento de las obleas de SiC, pero después de su uso.TaC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de obleas con y sin TaC, así como piezas de Simicera para el crecimiento de monocristales.

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con y sin TaC

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Después de usar TaC (derecha)

Además, la vida útil de los productos de recubrimiento TaC de Semicera es más larga y más resistente a las altas temperaturas que la del recubrimiento de SiC. Después de mucho tiempo de datos de medición de laboratorio, nuestro TaC puede funcionar durante mucho tiempo a un máximo de 2300 grados Celsius. Los siguientes son algunos de nuestros ejemplos:

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(a) Diagrama esquemático del dispositivo de cultivo de lingotes monocristalinos de SiC mediante el método PVT (b) Soporte superior para semillas recubierto de TaC (incluida la semilla de SiC) (c) Anillo guía de grafito recubierto de TAC

ZDFVzCFV
característica principal
Lugar de trabajo Semicera
Lugar de trabajo semicera 2
maquina de equipo
Procesamiento CNN, limpieza química, recubrimiento CVD
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