Barco isostático de grafito PECVD

Breve descripción:

El bote de grafito isostático PECVD se usa ampliamente en diversos eslabones de la fabricación de semiconductores, como la deposición de películas de polisilicio, deposición de películas de óxido, deposición de películas de nitruro, etc. Su excelente rendimiento lo convierte en un portador de obleas ideal en el proceso PECVD.

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El bote de grafito isostático PECVD de SEMICERA es un producto de grafito de alta pureza y alta densidad diseñado para soportar obleas en el proceso PECVD (deposición química de vapor mejorada por plasma). SEMICERA utiliza tecnología avanzada de prensado isostático para garantizar que el bote de grafito tenga una excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y buena conductividad térmica, que es un consumible indispensable en el proceso de fabricación de semiconductores.

La embarcación de grafito PECVD isostática SEMICERA tiene las siguientes ventajas:

▪ Alta pureza: El material de grafito es de alta pureza y bajo contenido de impurezas para evitar la contaminación de la superficie de la oblea.

▪ Alta densidad: Alta densidad, alta resistencia mecánica, puede soportar altas temperaturas y ambientes de alto vacío.

▪ Buena estabilidad dimensional: Pequeño cambio dimensional a alta temperatura para garantizar la estabilidad del proceso.

▪ Excelente conductividad térmica: transfiere calor de manera efectiva para evitar el sobrecalentamiento de la oblea.

▪ Fuerte resistencia a la corrosión: Capaz de resistir la erosión por diversos gases corrosivos y plasma.

Parámetro de rendimiento	semicera	SGL R6510	Parámetro de rendimiento
Densidad aparente (g/cm3)	1.91	1,83	1,85
Resistencia a la flexión (MPa)	63	60	49
Resistencia a la compresión (MPa)	135	130	103
Dureza Shore (HS)	70	64	60
Coeficiente de expansión térmica (10-6/K)	85	105	130
Coeficiente de expansión térmica (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Resistividad (μΩm)	11-13	13	10

Ventajas de elegirnos:
▪ Selección de materiales: Se utilizan materiales de grafito de alta pureza para garantizar la calidad del producto.
▪ Tecnología de procesamiento: Se utiliza prensado isostático para garantizar la densidad y uniformidad del producto.
▪ Personalización de tamaños: Se pueden personalizar embarcaciones de grafito de diferentes tamaños y formas según las necesidades del cliente.
▪ Tratamiento de superficies: se proporciona una variedad de métodos de tratamiento de superficies, como recubrimiento de carburo de silicio, nitruro de boro, etc., para cumplir con los diferentes requisitos del proceso.