Los equipos de corte por microchorro láser (LMJ) se pueden utilizar en la industria de semiconductores

Breve descripción:

La tecnología de microchorro láser (LMJ) es un método de procesamiento láser que combina el láser con un chorro de agua "tan fino como un cabello" y guía con precisión el rayo láser a la posición de procesamiento a través del reflejo total del pulso en el microchorro de agua de una manera similar a la fibra óptica tradicional. El chorro de agua enfría continuamente el área de corte y elimina eficazmente los residuos del procesamiento.


Detalle del producto

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Ventajas del procesamiento LMJ

Los defectos inherentes del procesamiento láser regular pueden superarse mediante el uso inteligente de la tecnología láser Micro Jet (LMJ) para propagar las características ópticas del agua y el aire. Esta tecnología permite que los pulsos láser reflejados completamente en el chorro de agua de alta pureza procesado lleguen sin perturbaciones a la superficie de mecanizado como en la fibra óptica.

Equipo de procesamiento láser Microjet-2-3
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Las principales características de la tecnología LMJ son:

1. El rayo láser es una estructura columnar (paralela).

2. El pulso láser se transmite en el chorro de agua como una fibra óptica, sin ninguna interferencia ambiental.

3. El rayo láser se enfoca en el equipo LMJ y la altura de la superficie mecanizada no cambia durante todo el proceso de procesamiento, por lo que no es necesario continuar enfocando con el cambio de la profundidad de procesamiento durante el procesamiento.

4. Limpiar la superficie continuamente.

tecnología de corte por láser micro-jet (1)

5. Además de la ablación del material de la pieza de trabajo mediante cada pulso láser, cada unidad de tiempo desde el comienzo de cada pulso hasta el siguiente, el material procesado está en el estado de agua de refrigeración en tiempo real durante aproximadamente el 99% del tiempo. , que casi elimina la zona afectada por el calor y la capa de refundición, pero mantiene la alta eficiencia del procesamiento.

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Especificaciones generales

LCSA-100

LCSA-200

Volumen de la encimera

125x200x100

460×460×300

Eje lineal XY

Motor lineal. motor lineal

Motor lineal. motor lineal

Eje lineal Z

100

300

Precisión de posicionamiento μm

+/- 5

+/- 3

Precisión de posicionamiento repetido μm

+/- 2

+/- 1

Aceleración G

0,5

1

control numérico

3 ejes

3 ejes

Laser

 

 

Tipo de láser

DPSS Nd: YAG

DPSS Nd: YAG, pulso

longitud de onda nm

532/1064

532/1064

Potencia nominal W

50/100/200

200/400

Chorro de agua

 

 

Diámetro de la boquilla µm

25-80

25-80

Barra de presión de la boquilla

100-600

0-600

Tamaño/Peso

 

 

Dimensiones (máquina) (Ancho x Largo x Alto)

1050x800x1870

1200x1200x2000

Dimensiones (armario de control) (ancho x largo x alto)

700x2300x1600

700x2300x1600

Peso (equipo) kg

1170

2500-3000

Peso (armario de control) kg

700-750

700-750

Consumo energético integral

 

 

Ientrada

CA 230 V +6%/ -10%, unidireccional 50/60 Hz ±1%

CA 400 V +6%/-10%, trifásico 50/60 Hz ±1%

valor pico

2,5kVA

2,5kVA

Join

Cable de alimentación de 10 m: P+N+T, 1,5 mm2

Cable de alimentación de 10 m: P+N+T, 1,5 mm2

Rango de aplicaciones para usuarios de la industria de semiconductores

≤4 pulgadas de lingote redondo

≤4 pulgadas de rodajas de lingote

Trazado de lingotes de ≤4 pulgadas

 

≤6 pulgadas de lingote redondo

Rodajas de lingotes de ≤6 pulgadas

Trazado de lingotes de ≤6 pulgadas

La máquina cumple con el valor teórico de corte circular/rebanado/rebanado de 8 pulgadas, y los resultados prácticos específicos deben optimizarse en la estrategia de corte.

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tecnología de corte por láser micro-jet (1)
tecnología de corte por láser micro-jet (2)

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