Anillo de SiC RTP CVD

Breve descripción:

Los anillos RTP CVD SiC están compuestos principalmente de carburo de silicio (SiC), cuya composición química y estructura cristalina le otorgan un excelente rendimiento. El carburo de silicio es un material cerámico con alto punto de fusión, alta dureza y excelente resistencia a la corrosión. Presenta buena conductividad térmica y estabilidad química a altas temperaturas, y tiene excelente resistencia mecánica y resistencia al desgaste.

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¿Por qué es el anillo de grabado de carburo de silicio?

RTPAnillos de SiC CVDSon ampliamente utilizados en campos industriales y científicos en ambientes corrosivos y de alta temperatura. Desempeña un papel importante en la fabricación de semiconductores, la optoelectrónica, la maquinaria de precisión y la industria química. Las aplicaciones específicas incluyen:

1. Fabricación de semiconductores:Anillos RTP CVD SiCse puede utilizar para calentar y enfriar equipos semiconductores, proporcionando un control de temperatura estable y garantizando la precisión y consistencia del proceso.

2. Optoelectrónica: debido a su excelente conductividad térmica y resistencia a altas temperaturas, RTPAnillos de SiC CVDSe puede utilizar como material de soporte y disipación de calor para láseres, equipos de comunicación de fibra óptica y componentes ópticos.

3. Maquinaria de precisión: los anillos RTP CVD SiC se pueden utilizar para instrumentos y equipos de precisión en entornos corrosivos y de alta temperatura, como hornos de alta temperatura, dispositivos de vacío y reactores químicos.

4. Industria química: debido a su resistencia a la corrosión y estabilidad química, los anillos RTP CVD SiC se pueden utilizar en contenedores, tuberías y reactores en reacciones químicas y procesos catalíticos.

Sistema Epi

Sistema RTP

Sistema CVD

Rendimiento del producto:

1. Conozca el proceso por debajo de 28 nm

2. Súper resistencia a la corrosión

3. Rendimiento súper limpio

4. Súper dureza

5. Alta densidad

6. Resistencia a altas temperaturas

7. Resistencia al desgaste

Aplicación del producto:

Los materiales de carburo de silicio tienen las características de alta dureza, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y estabilidad a altas temperaturas. Los productos con excelente rendimiento integral se utilizan ampliamente en procesos de grabado seco y TF/difusión.