semicerapresenta elCasete semiconductor, una herramienta esencial para el manejo seguro y eficiente de obleas durante todo el proceso de fabricación de semiconductores. Diseñado con alta precisión, este casete garantiza que sus obleas se almacenen y transporten de forma segura, manteniendo su integridad en cada etapa.
Protección y durabilidad superioresElCasete semiconductorde Semicera está construido para ofrecer la máxima protección a tus obleas. Construido con materiales robustos y resistentes a la contaminación, protege sus obleas de posibles daños y contaminación, lo que lo convierte en una opción ideal para entornos de salas blancas. El diseño del casete minimiza la generación de partículas y garantiza que las obleas permanezcan intactas y seguras durante la manipulación y el transporte.
Diseño mejorado para un rendimiento óptimoSemicerasCasete semiconductorpresenta un diseño meticulosamente diseñado que proporciona una alineación precisa de la oblea, lo que reduce el riesgo de desalineación y daños mecánicos. Las ranuras del casete están perfectamente espaciadas para sujetar cada oblea de forma segura, evitando cualquier movimiento que pueda provocar rayones u otras imperfecciones.
Versatilidad y compatibilidadElCasete semiconductores versátil y compatible con varios tamaños de oblea, lo que lo hace adecuado para diferentes etapas de la fabricación de semiconductores. Ya sea que trabaje con dimensiones de oblea estándar o personalizadas, este casete se adapta a sus necesidades y ofrece flexibilidad en sus procesos de fabricación.
Manejo optimizado y eficienciaDiseñado pensando en el usuario, elCasete semiconductor SemiceraEs liviano y fácil de manejar, lo que permite una carga y descarga rápida y eficiente. Este diseño ergonómico no solo ahorra tiempo sino que también reduce el riesgo de error humano, lo que garantiza un funcionamiento fluido dentro de sus instalaciones.
Cumplir con los estándares de la industriaSemicera asegura que elCasete semiconductorCumple con los más altos estándares de la industria en cuanto a calidad y confiabilidad. Cada casete se somete a pruebas rigurosas para garantizar que funcione de manera consistente en las exigentes condiciones de la fabricación de semiconductores. Esta dedicación a la calidad garantiza que sus obleas estén siempre protegidas, manteniendo los altos estándares requeridos en la industria.
| Elementos | Producción | Investigación | Ficticio |
| Parámetros de cristal | |||
| politipo | 4H | ||
| Error de orientación de la superficie | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parámetros eléctricos | |||
| dopante | Nitrógeno tipo n | ||
| Resistividad | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Parámetros mecánicos | |||
| Diámetro | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Espesor | 350±25 micras | ||
| Orientación plana primaria | [1-100]±5° | ||
| Longitud plana primaria | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| piso secundario | Ninguno | ||
| televisión | ≤5 micras | ≤10 micras | ≤15 micras |
| TVL | ≤3 micras(5mm*5mm) | ≤5 micras(5mm*5mm) | ≤10 micras(5mm*5mm) |
| Arco | -15 μm ~ 15 μm | -35 μm ~ 35 μm | -45 μm ~ 45 μm |
| Urdimbre | ≤35 micras | ≤45 micras | ≤55 micras |
| Rugosidad frontal (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Estructura | |||
| Densidad de microtubos | <1 unidad/cm2 | <10 c/cm2 | <15 c/cm2 |
| Impurezas metálicas | ≤5E10átomos/cm2 | NA | |
| TLP | ≤1500 unidades/cm2 | ≤3000 unidades/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 unidades/cm2 | ≤1000 unidades/cm2 | NA |
| Calidad frontal | |||
| Frente | Si | ||
| Acabado superficial | CMP de cara Si | ||
| Partículas | ≤60ea/oblea (tamaño≥0,3μm) | NA | |
| Arañazos | ≤5ea/mm. Longitud acumulada ≤Diámetro | Longitud acumulada≤2*Diámetro | NA |
| Piel de naranja/huevos/manchas/estrías/grietas/contaminación | Ninguno | NA | |
| Descantillados/hendiduras/fracturas/placas hexagonales | Ninguno | ||
| Áreas politipo | Ninguno | Área acumulada≤20% | Área acumulada≤30% |
| Marcado láser frontal | Ninguno | ||
| Calidad trasera | |||
| Acabado trasero | CMP cara C | ||
| Arañazos | ≤5ea/mm, longitud acumulada≤2*Diámetro | NA | |
| Defectos posteriores (descantillados/hendiduras en los bordes) | Ninguno | ||
| Rugosidad de la espalda | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcado láser trasero | 1 mm (desde el borde superior) | ||
| Borde | |||
| Borde | Chaflán | ||
| Embalaje | |||
| Embalaje | Epi-ready con envasado al vacío Envasado de casetes de obleas múltiples | ||
| *Notas: "NA" significa sin solicitud. Los artículos no mencionados pueden referirse a SEMI-STD. | |||
