Susceptor de oblea de grafito con revestimiento de SiC

Breve descripción:

El susceptor de obleas de grafito con revestimiento de SiC de Semicera Semiconductor ofrece un rendimiento térmico superior y durabilidad para el procesamiento de obleas. Confíe en Semicera para obtener susceptores avanzados recubiertos de SiC diseñados para mejorar la eficiencia y la confiabilidad en aplicaciones de semiconductores.

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Descripción

Los susceptores de obleas de SiC de Semicorex para MOCVD (deposición química de vapor metal-orgánico) están diseñados para satisfacer las exigentes demandas de los procesos de deposición epitaxial. Al utilizar carburo de silicio (SiC) de alta calidad, estos susceptores ofrecen durabilidad y rendimiento incomparables en entornos corrosivos y de alta temperatura, lo que garantiza el crecimiento preciso y eficiente de materiales semiconductores.

Características clave:

1. Propiedades superiores de los materialesConstruidos con SiC de alta calidad, nuestros susceptores de oblea exhiben una conductividad térmica y una resistencia química excepcionales. Estas propiedades les permiten resistir las condiciones extremas de los procesos MOCVD, incluidas altas temperaturas y gases corrosivos, lo que garantiza una longevidad y un rendimiento confiable.

2. Precisión en la deposición epitaxialLa ingeniería precisa de nuestros susceptores de obleas de SiC garantiza una distribución uniforme de la temperatura en toda la superficie de la oblea, lo que facilita un crecimiento consistente y de alta calidad de la capa epitaxial. Esta precisión es fundamental para producir semiconductores con propiedades eléctricas óptimas.

3. Durabilidad mejoradaEl robusto material SiC proporciona una excelente resistencia al desgaste y la degradación, incluso bajo exposición continua a entornos de proceso hostiles. Esta durabilidad reduce la frecuencia de los reemplazos de susceptores, minimizando el tiempo de inactividad y los costos operativos.