La SemiceraPaleta de oblea voladiza de SiCestá diseñado para satisfacer las demandas de la fabricación moderna de semiconductores. Estepaleta de obleaOfrece una excelente resistencia mecánica y térmica, lo cual es fundamental para manipular obleas en entornos de alta temperatura.
El diseño voladizo de SiC permite una colocación precisa de las obleas, lo que reduce el riesgo de daños durante la manipulación. Su alta conductividad térmica garantiza que la oblea permanezca estable incluso en condiciones extremas, lo cual es fundamental para mantener la eficiencia de la producción.
Además de sus ventajas estructurales, SemiceraPaleta de oblea voladiza de SiCTambién ofrece ventajas en peso y durabilidad. La construcción liviana facilita su manejo e integración en sistemas existentes, mientras que el material SiC de alta densidad garantiza una durabilidad duradera en condiciones exigentes.
| Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
| Propiedad | Valor típico |
| Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
| Contenido de SiC | > 99,96% |
| Contenido gratuito de Si | <0,1% |
| densidad aparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porosidad aparente | < 16% |
| Fuerza de compresión | > 600MPa |
| Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
| Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
| Expansión térmica @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Conductividad térmica a 1200°C | 23 W/m·K |
| módulo elástico | 240 GPa |
| Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |
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