recubierto de TaCLa base de grafito LED ultravioleta profunda se refiere al proceso de mejorar el rendimiento y la estabilidad del dispositivo depositando unrevestimiento de TaCsobre la base de grafito durante la preparación del dispositivo LED ultravioleta profundo. Este recubrimiento puede mejorar el rendimiento de disipación de calor, la resistencia a altas temperaturas y la resistencia a la oxidación del dispositivo, mejorando así la eficiencia y confiabilidad del dispositivo LED. Los dispositivos LED ultravioleta profundos se utilizan generalmente en algunos campos especiales, como desinfección, fotopolimerización, etc., que tienen altos requisitos para la estabilidad y el rendimiento del dispositivo. La aplicación deGrafito recubierto de TaCLa base puede mejorar eficazmente la durabilidad y el rendimiento del dispositivo, proporcionando un apoyo importante para el desarrollo de la tecnología LED ultravioleta profunda.
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes.El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, alta estabilidad de temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (Susceptor TaC recubierto de grafito), y prolongar la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología deTaC en materia de CVDcon los esfuerzos conjuntos del departamento de I+D. Es fácil que se produzcan defectos en el proceso de crecimiento de las obleas de SiC, pero después de su uso.TaC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de obleas con y sin TaC, así como piezas de Simicera para el crecimiento de monocristales.
con y sin TaC
Después de usar TaC (derecha)
Además, SemiceraProductos recubiertos de TaCpresentan una vida útil más larga y una mayor resistencia a altas temperaturas en comparación conRecubrimientos de SiC.Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestroRecubrimientos de TaCPuede funcionar consistentemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación se muestran algunos ejemplos de nuestras muestras:
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Anillo guía de recubrimiento CVD de carburo de tantalio
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Crisol de recubrimiento de carburo de tantalio
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Media luna superior recubierta de carburo de tantalio CVD
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Susceptor de oblea recubierto de carburo de tantalio
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Anillo de grafito recubierto de carburo de tantalio
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Placa de soporte de pedestal con revestimiento de carburo de tantalio