La placa recubierta de TaC es un disco especializado diseñado para su uso en procesos epitaxiales de SiC, elaborado con precisión a partir de material de grafito de alta calidad. Su superficie está meticulosamente recubierta con carburo de tantalio (TaC), un compuesto conocido por su pureza y resistencia excepcionales. El recubrimiento de TaC mejora la durabilidad y la resistencia de la placa a altas temperaturas, lo que la hace ideal para las exigentes condiciones de los procesos epitaxiales de SiC.
Esta innovadora placa recubierta de TaC es un disco especializado diseñado para su uso en procesos epitaxiales de SiC, elaborado con precisión a partir de material de grafito de alta calidad. La superficie de la placa recubierta de TaC está meticulosamente recubierta con carburo de tantalio (TaC), un compuesto conocido por su pureza y resistencia excepcionales. Sirve como una plataforma confiable para transportar obleas durante varias etapas del crecimiento epitaxial de SiC. Su base de grafito de alta pureza proporciona una superficie estable e inerte, mientras que el revestimiento de TaC añade una capa adicional de protección contra reacciones químicas y desgaste.
semimicoeraLa placa recubierta de TaC se personaliza según los requisitos específicos de los clientes, lo que garantiza un rendimiento óptimo y compatibilidad con sus sistemas epitaxiales de SiC. Ya sea por tamaño, forma u otras especificaciones, estas placas están diseñadas para satisfacer las necesidades únicas de cada aplicación.
con y sin TaC
Después de usar TaC (derecha)
Además, SemiceraProductos recubiertos de TaCpresentan una vida útil más larga y una mayor resistencia a altas temperaturas en comparación conRecubrimientos de SiC.Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestroRecubrimientos de TaCPuede funcionar consistentemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación se muestran algunos ejemplos de nuestras muestras:
