Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes.El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, alta estabilidad de temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (Susceptor TaC recubierto de grafito), y prolongar la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
Los portadores de obleas recubiertos de carburo de tantalio se utilizan ampliamente en procesos de procesamiento y manipulación de obleas en procesos de fabricación de semiconductores. Proporcionan soporte estable y protección para garantizar la seguridad, precisión y consistencia de las obleas durante el proceso de fabricación. Los recubrimientos de carburo de tantalio pueden prolongar la vida útil del soporte, reducir costos y mejorar la calidad y confiabilidad de los productos semiconductores.
La descripción del portador de oblea recubierta de carburo de tantalio es la siguiente:
1. Selección de materiales: El carburo de tantalio es un material con excelente rendimiento, alta dureza, alto punto de fusión, resistencia a la corrosión y excelentes propiedades mecánicas, por lo que se usa ampliamente en el proceso de fabricación de semiconductores.
2. Recubrimiento de la superficie: El recubrimiento de carburo de tantalio se aplica a la superficie del soporte de la oblea mediante un proceso de recubrimiento especial para formar un recubrimiento de carburo de tantalio uniforme y denso. Este recubrimiento puede proporcionar protección adicional y resistencia al desgaste, al mismo tiempo que tiene una buena conductividad térmica.
3. Planitud y precisión: el portador de obleas recubierto de carburo de tantalio tiene un alto grado de planitud y precisión, lo que garantiza la estabilidad y precisión de las obleas durante el proceso de fabricación. La planitud y el acabado de la superficie del soporte son fundamentales para garantizar la calidad y el rendimiento de la oblea.
4. Estabilidad de temperatura: los portadores de obleas recubiertos de carburo de tantalio pueden mantener la estabilidad en entornos de alta temperatura sin deformarse ni aflojarse, lo que garantiza la estabilidad y consistencia de las obleas en procesos de alta temperatura.
5. Resistencia a la corrosión: los recubrimientos de carburo de tantalio tienen una excelente resistencia a la corrosión, pueden resistir la erosión de productos químicos y solventes y protegen el portador de la corrosión de líquidos y gases.
con y sin TaC
Después de usar TaC (derecha)
Además, SemiceraProductos recubiertos de TaCpresentan una vida útil más larga y una mayor resistencia a altas temperaturas en comparación conRecubrimientos de SiC.Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestroRecubrimientos de TaCPuede funcionar consistentemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación se muestran algunos ejemplos de nuestras muestras:
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Placa planetaria con revestimiento de carburo de tantalio (TaC)
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Piezas personalizadas de revestimiento CVD TaC de carburo de tantalio
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Calentador MOCVD de carburo de tantalio
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Tapas recubiertas de carburo de tantalio
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Placa de soporte de pedestal con revestimiento de carburo de tantalio
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Susceptor de oblea con recubrimiento CVD TaC de carburo de tantalio