Hoja de grafito recubierta de carburo de tantalioEs un material de grafito con una fina capa decarburo de tantalioen la superficie del sustrato. La fina capa de carburo de tantalio generalmente se forma sobre la superficie del sustrato de grafito mediante técnicas como la deposición física de vapor (PVD) o la deposición química de vapor (CVD). Este recubrimiento tiene excelentes propiedades como alta dureza, excelente resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y estabilidad a altas temperaturas.
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes.El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, alta estabilidad de temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (Susceptor TaC recubierto de grafito), y prolongar la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología deTaC en materia de CVDcon los esfuerzos conjuntos del departamento de I+D. Es fácil que se produzcan defectos en el proceso de crecimiento de las obleas de SiC, pero después de su uso.TaC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de obleas con y sin TaC, así como piezas de Simicera para el crecimiento de monocristales.
Las principales ventajas de la lámina de grafito recubierta de carburo de tantalio incluyen:
1. Resistencia a altas temperaturas: el carburo de tantalio tiene un alto punto de fusión y una excelente estabilidad a altas temperaturas, lo que hace que la lámina de grafito recubierta sea adecuada para su uso en ambientes de altas temperaturas.
2. Resistencia a la corrosión: el recubrimiento de carburo de tantalio puede resistir la erosión de muchas sustancias químicas corrosivas y prolongar la vida útil del material.
3. Alta dureza: La alta dureza de la fina capa de carburo de tantalio proporciona una buena resistencia al desgaste y es adecuada para aplicaciones que requieren una alta resistencia al desgaste.
4. Estabilidad química: el recubrimiento de carburo de tantalio tiene una excelente estabilidad a la corrosión química y es adecuado para su uso en algunos medios corrosivos.
con y sin TaC
Después de usar TaC (derecha)
Además, SemiceraProductos recubiertos de TaCpresentan una vida útil más larga y una mayor resistencia a altas temperaturas en comparación conRecubrimientos de SiC.Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestroRecubrimientos de TaCPuede funcionar consistentemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación se muestran algunos ejemplos de nuestras muestras:
