Piezas de la segunda mitad para deflectores inferiores en proceso epitaxial

Breve descripción:

Piezas de grafito recubiertas de SiC para equipos epitaxiales de SiC.

Introducción y uso del producto: tubo de cuarzo conectado, puede pasar gas para impulsar la rotación de la base de la bandeja, control de temperatura

Ubicación del dispositivo del producto: en la cámara de reacción, no en contacto directo con la oblea

Principales productos derivados: dispositivos de energía.

Principal mercado terminal: vehículos de nuevas energías

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Recubierto de SiCPieza de media luna de grafitoEs un componente clave utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, especialmente para equipos epitaxiales de SiC. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar la pieza en forma de media luna con una pureza extremadamente alta, buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, así como altas propiedades de resistencia química y estabilidad térmica.