Recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) con alta pureza, estabilidad a alta temperatura y alta resistencia química

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Breve descripción:

El recubrimiento TaC es una nueva generación de material resistente a altas temperaturas, con mejor estabilidad a altas temperaturas que el SiC, como recubrimiento resistente a la corrosión, recubrimiento resistente a la oxidación, recubrimiento resistente al desgaste, se puede usar en ambientes por encima de 2000 ℃, ampliamente utilizado en ultra-espacio aeroespacial. piezas de extremo caliente de alta temperatura, la tercera generación de crecimiento de monocristal semiconductor y otros campos.

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Semicera Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes.Semicera El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, alta estabilidad de temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (Susceptor TaC recubierto de grafito), y prolongar la vida útil de los componentes clave del reactor.El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.

Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología deTaC en materia de CVDcon los esfuerzos conjuntos del departamento de I+D.Es fácil que se produzcan defectos en el proceso de crecimiento de las obleas de SiC, pero después de su uso.TaC, la diferencia es significativa.A continuación se muestra una comparación de obleas con y sin TaC, así como piezas de Simicera para el crecimiento de monocristales.

Pieza Tac para crecimiento monocristal.

Recubrimiento antidesgaste de carburo de tantalio_ Protege el equipo del desgaste y la corrosión Imagen destacada

Grafito con anillo recubierto de TaC

con y sin TaC

Después de usar TaC (derecha)

Además, la vida útil de los productos de recubrimiento TaC de Semicera es más larga y más resistente a las altas temperaturas que la del recubrimiento de SiC.Después de mucho tiempo de datos de medición de laboratorio, nuestro TaC puede funcionar durante mucho tiempo a un máximo de 2300 grados Celsius.Los siguientes son algunos de nuestros ejemplos: