Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de silicio, portador de oblea de 8 pulgadas

Breve descripción:

Semicera Energy ofrece una amplia gama de susceptores y componentes de grafito diseñados para varios reactores de epitaxia.

A través de asociaciones estratégicas con fabricantes de equipos originales líderes en la industria, amplia experiencia en materiales y capacidades de fabricación avanzadas, Weitai ofrece diseños personalizados para cumplir con los requisitos específicos de su aplicación. Nuestro compromiso con la excelencia garantiza que usted reciba soluciones óptimas para las necesidades de su reactor de epitaxia.


Detalle del producto

Etiquetas de producto

Descripción

Recubrimiento CVD-SiCTiene las características de estructura uniforme, material compacto, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la oxidación, alta pureza, resistencia a ácidos y álcalis y reactivo orgánico, con propiedades físicas y químicas estables.
 
En comparación con los materiales de grafito de alta pureza, el grafito comienza a oxidarse a 400 °C, lo que provocará una pérdida de polvo debido a la oxidación, lo que provocará contaminación ambiental de los dispositivos periféricos y las cámaras de vacío, y aumentará las impurezas del entorno de alta pureza.
Sin embargo,Recubrimiento de SiCPuede mantener la estabilidad física y química a 1600 grados. Se usa ampliamente en la industria moderna, especialmente en la industria de semiconductores.

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Características principales

1. Grafito recubierto de SiC de alta pureza

2. Resistencia al calor superior y uniformidad térmica

3. BienRecubierto de cristal de SiCpara una superficie lisa

4. Alta durabilidad frente a limpieza química.

 

Especificaciones principales de los recubrimientos CVD-SIC:

SiC-CVD
Densidad (g/cc) 3.21
Resistencia a la flexión (Mpa) 470
Expansión térmica (10-6/K) 4
Conductividad térmica (W/mK) 300

Embalaje y envío

Capacidad de suministro:
10000 pedazos/pedazos por mes
Embalaje y entrega:
Embalaje: embalaje estándar y resistente
Bolsa de polietileno + Caja + Cartón + Paleta
Puerto:
Ningbo/Shenzhen/Shanghái
Plazo de entrega:

Cantidad (piezas) 1 – 1000 >1000
Est. Tiempo (días) 30 Para ser negociado
Lugar de trabajo Semicera
Lugar de trabajo semicera 2
maquina de equipo
Procesamiento CNN, limpieza química, recubrimiento CVD
Casa de artículos de semicera
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