Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de silicio, portador de oblea

Breve descripción:

Semicera ofrece una amplia gama de susceptores y componentes de grafito diseñados para varios reactores de epitaxia.

A través de asociaciones estratégicas con fabricantes de equipos originales líderes en la industria, amplia experiencia en materiales y capacidades de fabricación avanzadas, Semicera ofrece diseños personalizados para cumplir con los requisitos específicos de su aplicación.Nuestro compromiso con la excelencia garantiza que usted reciba soluciones óptimas para las necesidades de su reactor de epitaxia.

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Descripción

El recubrimiento CVD-SiC tiene las características de estructura uniforme, material compacto, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la oxidación, alta pureza, resistencia a ácidos y álcalis y reactivo orgánico, con propiedades físicas y químicas estables.
En comparación con los materiales de grafito de alta pureza, el grafito comienza a oxidarse a 400 °C, lo que provocará una pérdida de polvo debido a la oxidación, lo que provocará contaminación ambiental de los dispositivos periféricos y las cámaras de vacío, y aumentará las impurezas del entorno de alta pureza.
Sin embargo, el recubrimiento de SiC puede mantener la estabilidad física y química a 1600 grados. Se usa ampliamente en la industria moderna, especialmente en la industria de semiconductores.

FDVCDV

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Nuestra empresa brinda servicios de proceso de recubrimiento de SiC mediante el método CVD en la superficie de grafito, cerámica y otros materiales, de modo que gases especiales que contienen carbono y silicio reaccionan a alta temperatura para obtener moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas en la superficie de los materiales recubiertos. formando una capa protectora SIC.El SIC formado está firmemente adherido a la base de grafito, dándole a la base de grafito propiedades especiales, haciendo así que la superficie del grafito sea compacta, libre de porosidad, resistente a altas temperaturas, a la corrosión y a la oxidación.

Solicitud

Principales características

1. Grafito recubierto de SiC de alta pureza

2. Resistencia al calor superior y uniformidad térmica

3. Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa

4. Alta durabilidad frente a limpieza química.

Especificaciones principales de los recubrimientos CVD-SIC

SiC-CVD
Densidad	(g/cc)	3.21
Fuerza flexible	(Mpa)	470
Expansión térmica	(10-6/K)	4
Conductividad térmica	(W/mK)	300

Empaque y envío

Capacidad de suministro:
10000 pedazos/pedazos por mes
Empaquetado y entrega:
Embalaje: embalaje estándar y resistente
Bolsa de polietileno + Caja + Cartón + Paleta
Puerto:
Ningbo/Shenzhen/Shanghái
Tiempo de espera: