Susceptor de grafito con revestimiento de carburo de silicio

1. Conductividad térmica superiorEl susceptor de grafito recubierto de SiC exhibe una excelente conductividad térmica, que es crucial para una disipación eficiente del calor durante la fabricación de semiconductores. Esta característica minimiza los gradientes térmicos en la superficie de la oblea, promoviendo una distribución uniforme de la temperatura, esencial para lograr las propiedades semiconductoras deseadas.

2. Robusta resistencia al choque térmico y químicoEl recubrimiento de SiC proporciona una protección formidable contra la corrosión química y el choque térmico, manteniendo la integridad del susceptor de grafito incluso en entornos de procesamiento hostiles. Esta mayor durabilidad reduce el tiempo de inactividad y prolonga la vida útil, lo que contribuye a una mayor productividad y rentabilidad en las instalaciones de fabricación de semiconductores.

3. Personalización para necesidades específicasNuestros susceptores de grafito recubiertos de SiC se pueden adaptar para cumplir con requisitos y preferencias específicos. Ofrecemos una gama de opciones de personalización, incluidos ajustes de tamaño y variaciones en el espesor del recubrimiento, para garantizar la flexibilidad del diseño y el rendimiento optimizado para diferentes aplicaciones y parámetros de proceso.