Epitaxia de carburo de silicio

Breve descripción:

Epitaxia de carburo de silicio– Capas epitaxiales de alta calidad diseñadas para aplicaciones de semiconductores avanzadas, que ofrecen rendimiento y confiabilidad superiores para dispositivos optoelectrónicos y electrónicos de potencia.


Detalle del producto

Etiquetas de producto

SemicerasEpitaxia de carburo de silicioestá diseñado para satisfacer las rigurosas demandas de las aplicaciones modernas de semiconductores. Al utilizar técnicas avanzadas de crecimiento epitaxial, nos aseguramos de que cada capa de carburo de silicio muestre una calidad cristalina excepcional, uniformidad y una densidad mínima de defectos. Estas características son cruciales para desarrollar electrónica de potencia de alto rendimiento, donde la eficiencia y la gestión térmica son primordiales.

ElEpitaxia de carburo de silicioEl proceso en Semicera está optimizado para producir capas epitaxiales con un espesor preciso y control de dopaje, lo que garantiza un rendimiento constante en una variedad de dispositivos. Este nivel de precisión es esencial para aplicaciones en vehículos eléctricos, sistemas de energía renovable y comunicaciones de alta frecuencia, donde la confiabilidad y la eficiencia son críticas.

Además, SemiceraEpitaxia de carburo de silicioOfrece una conductividad térmica mejorada y un voltaje de ruptura más alto, lo que lo convierte en la opción preferida para dispositivos que funcionan en condiciones extremas. Estas propiedades contribuyen a prolongar la vida útil de los dispositivos y mejorar la eficiencia general del sistema, particularmente en entornos de alta potencia y alta temperatura.

Semicera también ofrece opciones de personalización paraEpitaxia de carburo de silicio, lo que permite soluciones personalizadas que cumplen con los requisitos específicos del dispositivo. Ya sea para investigación o producción a gran escala, nuestras capas epitaxiales están diseñadas para respaldar la próxima generación de innovaciones en semiconductores, permitiendo el desarrollo de dispositivos electrónicos más potentes, eficientes y confiables.

Al integrar tecnología de punta y estrictos procesos de control de calidad, Semicera garantiza que nuestrosEpitaxia de carburo de silicioLos productos no sólo cumplen sino que superan los estándares de la industria. Este compromiso con la excelencia hace que nuestras capas epitaxiales sean la base ideal para aplicaciones de semiconductores avanzadas, allanando el camino para avances en electrónica de potencia y optoelectrónica.

Elementos

Producción

Investigación

Ficticio

Parámetros de cristal

politipo

4H

Error de orientación de la superficie

<11-20 >4±0,15°

Parámetros eléctricos

dopante

Nitrógeno tipo n

Resistividad

0.015-0.025ohm·cm

Parámetros mecánicos

Diámetro

150,0 ± 0,2 mm

Espesor

350±25 micras

Orientación plana primaria

[1-100]±5°

Longitud plana primaria

47,5 ± 1,5 mm

piso secundario

Ninguno

televisión

≤5 micras

≤10 micras

≤15 micras

TVL

≤3 micras(5mm*5mm)

≤5 micras(5mm*5mm)

≤10 micras(5mm*5mm)

Arco

-15 μm ~ 15 μm

-35 μm ~ 35 μm

-45 μm ~ 45 μm

Urdimbre

≤35 micras

≤45 micras

≤55 micras

Rugosidad frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Estructura

Densidad de microtubos

<1 unidad/cm2

<10 c/cm2

<15 c/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10átomos/cm2

NA

TLP

≤1500 unidades/cm2

≤3000 unidades/cm2

NA

TSD

≤500 unidades/cm2

≤1000 unidades/cm2

NA

Calidad frontal

Frente

Si

Acabado superficial

CMP de cara Si

Partículas

≤60ea/oblea (tamaño≥0,3μm)

NA

Arañazos

≤5ea/mm. Longitud acumulada ≤Diámetro

Longitud acumulada≤2*Diámetro

NA

Piel de naranja/huevos/manchas/estrías/grietas/contaminación

Ninguno

NA

Descantillados/hendiduras/fracturas/placas hexagonales

Ninguno

Áreas politipo

Ninguno

Área acumulada≤20%

Área acumulada≤30%

Marcado láser frontal

Ninguno

Calidad trasera

Acabado trasero

CMP cara C

Arañazos

≤5ea/mm, longitud acumulada≤2*Diámetro

NA

Defectos posteriores (descantillados/hendiduras en los bordes)

Ninguno

Rugosidad de la espalda

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcado láser trasero

1 mm (desde el borde superior)

Borde

Borde

Chaflán

Embalaje

Embalaje

Epi-ready con envasado al vacío

Envasado de casetes de obleas múltiples

*Notas: "NA" significa sin solicitud. Los artículos no mencionados pueden referirse a SEMI-STD.

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Obleas de SiC

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