Anillos guía de grafito recubiertos de TaCSe refiere a la deposición de una fina capa decarburo de tantalioen la superficie de un anillo guía de grafito para mejorar su resistencia al desgaste, resistencia a altas temperaturas y estabilidad química. Este recubrimiento generalmente se forma en la superficie de un anillo guía de grafito mediante técnicas como la deposición física de vapor (PVD) o la deposición química de vapor (CVD).
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes.El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, alta estabilidad de temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (Susceptor TaC recubierto de grafito), y prolongar la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología deTaC en materia de CVDcon los esfuerzos conjuntos del departamento de I+D. Es fácil que se produzcan defectos en el proceso de crecimiento de las obleas de SiC, pero después de su uso.TaC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de obleas con y sin TaC, así como piezas de Simicera para el crecimiento de monocristales.
Las principales características de los anillos guía de grafito recubiertos con TaC incluyen:
1. Resistencia a altas temperaturas: el recubrimiento TaC tiene una excelente estabilidad a altas temperaturas y puede mantener la estabilidad en ambientes de altas temperaturas.
2. Resistencia al desgaste: La alta dureza de la fina capa de carburo de tantalio le da al anillo guía una buena resistencia al desgaste y extiende su vida útil.
3. Estabilidad química: el recubrimiento TaC tiene una alta estabilidad contra la corrosión química, lo que lo hace adecuado para aplicaciones en algunos medios corrosivos.
4. Reducir la fricción: el recubrimiento de TaC puede reducir eficazmente la fricción entre el anillo guía de grafito y otros componentes y mejorar la eficiencia de los sellos mecánicos.
con y sin TaC
Después de usar TaC (derecha)
Además, SemiceraProductos recubiertos de TaCpresentan una vida útil más larga y una mayor resistencia a altas temperaturas en comparación conRecubrimientos de SiC.Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestroRecubrimientos de TaCPuede funcionar consistentemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación se muestran algunos ejemplos de nuestras muestras:
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Media luna superior recubierta de carburo de tantalio CVD
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Susceptor de oblea con recubrimiento CVD TaC de carburo de tantalio
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Anillo recubierto de desgaste de carburo de tantalio
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Anillo de desvío de revestimiento de carburo de tantalio
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Susceptor de oblea recubierto de carburo de tantalio
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Anillo de segmento recubierto de TaC