Placa de soporte de susceptor recubierta de carburo de tantalioEs una estructura susceptora o de soporte que está recubierta por una fina capa decarburo de tantalio. Este recubrimiento se puede formar sobre la superficie del susceptor mediante técnicas como la deposición física de vapor (PVD) o la deposición química de vapor (CVD), dando al susceptor las propiedades superiores decarburo de tantalio.
Semicera proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes.El proceso de recubrimiento líder de Semicera permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, alta estabilidad de temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI (Susceptor TaC recubierto de grafito), y prolongar la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y Semicera ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.
Después de años de desarrollo, Semicera ha conquistado la tecnología deTaC en materia de CVDcon los esfuerzos conjuntos del departamento de I+D. Es fácil que se produzcan defectos en el proceso de crecimiento de las obleas de SiC, pero después de su uso.TaC, la diferencia es significativa. A continuación se muestra una comparación de obleas con y sin TaC, así como piezas de Simicera para el crecimiento de monocristales.
Las principales características de las placas de soporte de base recubiertas de carburo de tantalio incluyen:
1. Estabilidad a altas temperaturas: El carburo de tantalio tiene una excelente estabilidad a altas temperaturas, lo que hace que la placa de soporte de base revestida sea adecuada para las necesidades de soporte en entornos de trabajo a altas temperaturas.
2. Resistencia a la corrosión: el recubrimiento de carburo de tantalio tiene buena resistencia a la corrosión, puede resistir la corrosión química y la oxidación y prolonga la vida útil de la base.
3. Alta dureza y resistencia al desgaste: La alta dureza del recubrimiento de carburo de tantalio le da a la placa de soporte de la base una buena resistencia al desgaste, lo cual es adecuado para ocasiones que requieren una alta resistencia al desgaste.
4. Estabilidad química: El carburo de tantalio tiene una alta estabilidad ante una variedad de sustancias químicas, lo que hace que la placa de soporte de base recubierta funcione bien en algunos ambientes corrosivos.
con y sin TaC
Después de usar TaC (derecha)
Además, SemiceraProductos recubiertos de TaCpresentan una vida útil más larga y una mayor resistencia a altas temperaturas en comparación conRecubrimientos de SiC.Las mediciones de laboratorio han demostrado que nuestroRecubrimientos de TaCPuede funcionar consistentemente a temperaturas de hasta 2300 grados Celsius durante períodos prolongados. A continuación se muestran algunos ejemplos de nuestras muestras:
